シリコンウェーハ用LAPキャリア

PR Hoffman社のインサートキャリアは、ウェーハ品質の向上やトータルコスト削減など、多くのメリットを備えたキャリアです。これらのメリットは多くのユーザに支持され実証されてきました。

不良率の低減

PR Hoffman社のインサートキャリアは、ワークホール端面に樹脂を使用することによって、ウェーハのチッピングなどによる欠陥を駆逐。不良率を低減します。

TTV向上

摩擦係数が低い樹脂素材が、研磨加工中のウェーハに充分な回転を促し、平坦度を向上させます。

ウェーハエッジの形状を保持

ワークホール端面の変形によっておこる、ウェーハ端面の「垂れ現象」を防ぎます。面取り・エッチングなど次工程との相性が良い為、製造工程全体に大きく貢献いたします。

PR Hoffman社のスチールキャリアは、カスタムメイドのスチールを用い、
精度の高いレーザーカットマシーンにて加工を行います。
ご要望に応じて、ワークホール内面を滑らかにする、ポリッシュ加工も可能です。

■対応マシーン
PR Hoffman社をはじめ、不二越機械工業(株)殿、浜井産業(株)殿、スピードファム(株)殿、
ピーターウォルターズ(株)殿など多種の研磨マシーンに対応しています。

■キャリア/ウェーハサイズ
キャリアサイズ：8B〜32B　　ウェーハサイズ：100mm〜300mm

ワークホール断面ポリッシュ加工（内面研磨）

ご要望に応じて、SKキャリアの断面をポリッシュ加工いたします。 ワークホールの内面を研磨することにより、加工中のウェーハの動きがスムースになり、 （特に加工初期段階）ウェーハ端面のダメージを軽減することができます。

• レーザーカット後のワークホール断面

  

• ポリッシュ加工後のワークホール断面

  

• PR Hoffman社が誇る 高性能レーザーカットマシーン

  

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